柳冲（？—717年），唐代蒲州虞乡（今山西永济东虞乡）人，著名的史学家。
《旧唐书139·柳冲》称，柳冲，蒲州虞乡人也，隋饶州刺史庄曾孙也。其先仕江左，世居襄阳。陈亡，还乡里。父楚贤，大业末，为河北县长。时尧君素固守郡城，以拒义师。楚贤进说曰：“隋之将亡，天下皆知。唐公名应图箓，动以信义，豪杰响应，天所赞也！君子见机而作，不俟终日，转祸为福，今其时也！”君素不从，楚贤潜行归国。高祖甚悦，拜侍御史。贞观中，累转光禄少卿，使突厥存抚李思摩，突厥赠马百匹及方物，悉拒而不受。累转交、桂二州都督，皆有能名。卒于杭州刺史。上述记载是柳冲之父柳楚贤的生平事迹，而非柳冲的事迹。
冲好学，多所研总。天授初，为司府寺主簿，诏遣安抚淮南，使有指，封河东县男。中宗景龙中，迁左散骑常侍，修国史。
初，太宗命诸儒撰《氏族志》，甄差群姓。其后门胄兴替不常，冲请改修其书，帝诏魏元忠、张锡、萧至忠、岑羲、崔湜、徐坚、刘宪、吴兢及冲共取德、功、时望、国籍之家，等而次之。夷蕃酋长袭冠带者，析著别品。会元忠等继物故，至先天时，复诏冲及坚、兢与魏知古、陆象先、刘子玄等讨缀，书乃成，号《姓系录》。历太子宾客、宋王师、昭文馆学士，以老致仕。开元初，诏冲与薛南金复加刊窜，乃定。
人生仕途
柳冲在唐贞观年间不断升迁，至光禄少卿，并持节出使突厥。突厥赠马百匹及很多地方特产，他都辞而不受。后来柳冲还任交、桂二州都督，杭州刺史等职，所至以善治闻名。武则天天授初年（690年）。柳冲为司府寺主簿，受诏巡抚淮南，还朝后被封为河东县男。唐中宗景龙年间（707年—709年），柳冲任左散骑常侍．并以奉官身份入史馆修撰国史。
柳冲好学，知识广博，尤通世族家谱。唐太宗时曾命学者撰《氏族志》百卷，以甄别士庶，但到唐中宗时由于长期以来门第兴替的变化，旧的《氏族志》已不能反映实际情况，为此，柳冲特奏请唐中宗重新修定。唐中宗准其奏，命他与左仆射魏元忠及史官张锡、徐坚、刘宪等八人依据《氏族志》重加修撰，但实际撰写时间不长，魏元忠等人大都相继死去，撰写无法进行而搁置。唐玄宗即位后，又诏柳冲与徐坚、吴兢、魏知古、陆象先、刘子玄继续修撰，成书后。定名为《姓氏系录》，共200卷奏上。
修成《氏系录》后。柳冲又曾任太子詹事、太子宾客、来王傅，昭文馆学士等职。唐玄宗开元二年(714年)，柳冲又受诏命与著作郎薛南金进一步改定《姓氏系录》，及柳冲将重新修定奉奏上以后，唐玄宗特赐绢百匹。不久，柳冲致仕，于开元五年（717年）死去。